硅微粉的加工
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硅微粉是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料,主要成分为SiO2,是由天然石英、熔融石英等为原料,经初选、破碎、研磨、精密分级等多道工艺加工而成。
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30、玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法<31、硅微机械结构的制造<32、一种CMOS电路与体硅微机械系统集成的方法<33、一种超细硅微粉的生产方法。
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