机械研磨技术
晶片化学机械研磨技术综述-龙源期刊网//.cn晶片化学机械研磨技术综述作者:张杰来源:《科学与财富》2017年第15期(国家知。
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2018年2月9日-本发明涉及研磨装置技术领域,尤其涉及一种化学机械研磨装置。背景技术:化学机械研磨,晶圆制造中,随着制程技术的升级、导线与栅极尺寸的缩小,光刻(。
启翔研磨是振动研磨机、振动抛光机的生产厂商,是中国精密研磨技术的者。致力于振动研磨机、振动抛光。
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采用机械研磨的方法对AZ31合金进行了表面纳米化处理,研究了机械研磨时间对AZ31合金显微组织、显微硬度和拉伸力学性能的影响。结果表明,随着表面机械研磨时间的延长,AZ31。
方达生产的平面_双面_镜面_抛光机,研磨机,减薄机,可对硅片,蓝宝石,光学晶体,不锈钢,铝材,钨钢,合金等金属或者非金属进行加工。
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化学机械研磨技术化学机械研磨技术(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)兼其有研磨性物质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨两种作用,可以使晶圆表面达到全面性的平坦。
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