制造石英坩埚设备
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在本发明的单晶硅制造设备中,有一热辐射屏在单晶生长区上方,以屏蔽和调节来自单晶生长区中熔融硅表面的热辐射,而降低坩埚温度从而降低单晶中的氧浓度。
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