石英玻璃的化学机械磨削加工-第18卷第7期2010年7月光学精密工程OpticsandPrecisionEngineeringV01.18No.7Jul.2010。

2019年4月6日-东海石英玻璃片加工[dqt0QUUJ]预计到2020年,半导体石英材料仍有望维持20%以上的年复合增长率。石英材料:重要的半导体辅材,国产替代加速▌产业

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从加工效率和运作成本而言,化学机械抛光[5]是目前主流的,也是实际生产中运用多的一种抛光技术。本文采用化学机械抛光(CMP)的方法来降低石英玻璃。

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石英玻璃具有极低的热膨胀系数,高的耐温性,极好的化学稳定性,优良的电绝缘性。普通玻璃细工一样的热加工,还可以用金刚石或碳化硅制成的磨具进行高速机械加工。

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摘要:石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件,其表面加工质量直接影响系统的长期稳定运行。文章介绍了化学机械抛光工艺,以及磁流变抛光加工。

本发明涉及石英切割技术领域,尤其涉及一种石英玻璃切割设备。背景技术:石英切割。片5对玻璃板固定,然后启动切割电机14,将电气柜1提供的电能转化成。

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基板化学机械抛光的影响因素分析(1中国建筑材料科学研究总院北京,2山东农业工程学院济南25000)摘要:集成电路制造工艺需要大量的石英玻璃研磨基。

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2018年2月9日-石英玻璃的化学机械磨削加工-光学精密工程.PDF,第卷第期光学精密工程187Vol.18No.7OticsandPrecisionEnineerin年月pgg20107Jul.2010文章编号()100。

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2018年10月27日玻璃品种多,用途广,除了常见常用的石英玻璃、钢化玻璃以外,还有光学。纯碱、长石及石灰石等为原料,经混和、高温熔融、匀化后,加工成形,再经退火而。

2010年7月光学精密工程OpticsPrecisionEngineeringV01.18No.7Jul.2010文章编号1004—924X—1554—08石英玻璃的化学机械磨削加工(L天津大。

(a)光谱仪器(b)中国神光激光器图1-1光学石英玻璃的典型应用Figure1-1Applicationcasesofquartzglass由于石英玻璃属于硬脆材料,故其机械加。

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石英玻璃的化学机械磨削加工_仇中军-第18卷第7期光学精密工程OpticsandPrecisionEngineering2010年7月文章编号1004。

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可为石英玻璃管进行各种深加工,有石英管切割、石英管烧口、石英管封口、石英管。(1-20目为1.6),20-200目为1.5,其化学、热学和机械性能具有明显的异向。